Plasma processes for semiconductor fabrication
- Författare
- W. Nicholas G. Hitchon
- (W.N.G. Hitchon., Även med tryckår: 2005)
- Genre
- Ej skönlitteratur
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cambridge University Press | 1999 | USA, New York | 221 sidor. | 978-0-521-59175-1, 978-0-521-01800-5 |